某半导加工制造品牌因晶圆清理生产工艺所产生含氨废气,的水量200吨/天。废气中除化学需氧量外还富含氟化物和轻微血本属,加工難度大。地方排污规格需求化学需氧量<5mg/L,氟化物<3mg/L。
电镀废水组成及原因
晶圆擦拭污水(首要起源):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工序生产废水:含进样器铜、镍等血本属,pH值价格波动大
CMP磨细废渣:含硅科粒及高锰酸盐指数
加工的工艺步奏
通过"电化学沉垫+膜分离法+折点氯化"组合成鑫霖环保:
预治理
:加药系统CaCl2除氟,掌控pH在7.5-8.
超滤膜装置
:彻底清除0.01μm以上内容小粒物
反构建果汁
:将氯离子精炼至1000mg/L上
折点氯化
:精密把控好氯添加量,将氧化还原电位有效的转化为氢气
铁离子相互交换
:担保血本属达到标准
最后的效果
氧化还原电位比较稳定<3mg/L,氟化物<1mg/L
血本属浓度达不到测试限
水工业废水处理率达75%
生活污水出现量才能减少40%