顶目大环境
深圳某半导体芯片厂出产阶段中一起发生高硅化工生产废水处理(SiO₂ 500-800mg/L)和含氟化工生产废水处理(F⁻ 200-300mg/L)。两种方式化工生产废水处理分层易于生成氟硅酸氢氧化铁,传统艺术化学沉垫法根本无法稳定性的标准。内容条件搜集避开硅和氟(尾气排放的标准:SiO₂≤30mg/L,F⁻≤10mg/L)。
废液因素及来源地
最主要物质
:硅酸氢钠(NaHSiO₃)、氟化铵(NH₄F)、异丙醇
主要来源
:晶圆刻蚀焦化生产废水、CMP磨细焦化生产废水、主设备冲泡水
治疗技艺环节
协同作战沉淀出的关键期
:
多级影响池
:
第一个级污泥脱水Ca(OH)₂添加CaF₂和CaSiO₃沉积;
其二级污泥脱水PAC(配位聚铝)增幅斜板沉淀池。
固液分割时候
:
反渗透膜软件
:采用了0.02μm口径膜构件公款私存氢氧化铁硅和微细石雕文化沉淀物。
深度.脱氟第一阶段
:
亲水性硫化铝离心分离塔
:多余氟正离子溶解避开。
进而的效果
溢水SiO₂≤25mg/L,F⁻≤8mg/L,远高于国内标准单位。
超滤膜模式通量不稳在15LMH,化学反应洗时期延缓至60天。
飞灰经压滤后含水量率<65%,可按普通废弃物防范。