该行业硅片生产加工工作中产生四氟化硅(SiF₄)尾气,氧浓度约150-300mg/m³,尾气中有效少量出氟化氢(HF)和氮氮化合物物(NOx)。
加工处工院艺
:
用于“水消化吸收+碱液与+化学活化炭溶解”工艺技术:
水吸收率塔
:SiF₄一旦碰到水作用出现氟硅酸(H₂SiF₆)和HF。
碱液采和
:NaOH水溶液中合呈酸性杂质,转为Na₂SiF₆结晶。
亲水性炭气体吸附
:进步消除残留氟化物及NOx。
工作目的
:
处理后有机废气物氟化物总酸度<3mg/m³,NOx<50mg/m³,可达到《大方得体环保问题物一体化排放量的标准》(GB16297-1996)追求。
四、领域市场现状与今后经济发展动向
近年,含氟有机废气物进行处理技术性已比熟,但行业中仍遭遇左右挑戰:
低投入效率高枝术各种需求
:涉及湿法工作正常运作成本投入较高,干法溶解剂降解方法待优化系统。
信息化合理利用
:如回笼氟硅酸分离纯化氟盐,改变废物回收市场化。
智力化调整
:使用高清在线评估与智能的调节,改善办理软件系统稳定可靠性。
未来的发展,随之环保原则原则趋严,含氟气体清理将向
提高效率化、低能源消耗、环境综合利用
走向成长,搭配组合工序(如等正离子体+催化反应空气氧化)或将形成分析热点问题。
五、预期结果
含氟有机烟粉尘操作需会根据有机烟粉尘组成成分、渗透压选定最合适的的鑫霖环保的技术设备,湿法代谢常使用于高渗透压酸碱性有机烟粉尘,干法活性炭吸附更最合适低渗透压繁多有机烟粉尘。利用其最典型的范例常见,组合式鑫霖环保的技术设备能有郊增长弄掉能力,确保安全未达标减排。制造业企业应融入自我的情况,选定生活能力必须的的技术设备情况报告,的同时关注新闻制造业新的技术设备发展方向,以构建节能与生活能力成效合作共赢。