建设项目题材
某中小型半导体技术研发品牌主应用于长江三角型区县,注意生孩子晶圆和解决器。在生孩子的过程 中,晶圆激光切割和打磨步骤行成很多精磨液废水解决,平均排污物量约50吨。在废水解决中含带濃度值透明桌面物、五金铝离子及充分加上剂,随时排污物会对氛围容易造成嚴重影响,品牌主需要项目建设专科解决设备。
电镀废水含量及主要来源
机磨液废气最首要特征于晶圆加工制作中的化学反应机诫增加光泽(CMP)环节,最首要污染源物比如:
悬停粒状物
:二空气腐蚀硅、空气腐蚀铝等碾磨颗粒物,颗粒直径在0.1-1μm,氨水浓度高达mg2000mg/L。
金属材质化合物
:铜、铁、锌等,出自于抛光剂垫磨损情况及晶圆的表面黑色金属层,铜阴离子盐浓度约50mg/L。
有机肥料修改剂
:也包括单单从表面化学活化剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
酸强碱性成分
:pH值动荡大,基本上在2-11之間。
除理生产技术环节
对应废气性能指标,用“预治理 +生物化+深度的治理 ”结构工艺设计:
自动调节池
:均衡教育水质标准排水量,移除酸碱度调控pH至中性化。
水泥混凝土沉淀出的
:污泥脱水PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚丙烯塑料酰胺),弄掉浮悬物和悬浊液,沉降后SS弄掉率>90%。
促使氧化物
:应用Fenton化学制剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附可挥发填加剂,COD剔除率达60%。
怪物治疗
:MBR膜生物学反响器进每一步吸附已用有机酸物,COD低于100mg/L以下的。
亚铁离子交換
:专门光敏树脂吸铜铁离子,出液铜成分<0.5mg/L。
砂滤+活力炭净化
:狠抓溢水使水变,实现《污水处理站综合性排放出规范标准化》(GB8978-1996)七级规范标准化。
结果英文成果
系统软件程序运行比较稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴离子<0.3mg/L。
使用率达40%,其他不合格废气减排,年削减废水处理方法废气减排1.6万吨。
正确处理人工成本约15元/吨,远压低行业中平均水平。